TaC涂层

TaC涂层石墨是通过化学气相沉积(CVD)工艺在高纯度石墨基材表面涂上一层细小的碳化钽而制成的。其凭借超高熔点、卓越的硬度和优异的化学稳定性,成为在极端环境下保护关键部件的理想选择。

特性

1、出色的抗热冲击阻力

2、出色的抗物理冲击阻力

3、出色的耐化学性

4、超高纯度

5、可加工成各种复杂的形状

6、在氧化环境下仍然可以使用

7、较长的寿命

参数

性能 单位 数值
密度 g/cm³ 14.3
熔点 3880
晶格常数 nm 0.4454
硬度 HK 2000
热导率 W/(m·K) 22-25(25℃)
W/(m·K) 15-18(100℃)
热膨胀系数 K 6.29×10-6
弹性模量 GPa 291
电阻率 Ω·cm 1×10-5

应用领域解决方案

单晶SiC生长组件

MOCVD组件

高温元件

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