SiC涂层

SiC涂层产品是一层薄层,使用化学气相沉积(CVD)工艺应用于敏感器。碳化硅材料与硅相比具有多种优势,包括10倍的击穿电场强度和3倍的带隙,使材料具有耐高温和耐化学性、优异的耐磨性和导热性。

特性

高耐热性、高纯度,避免污染最终产品、高密度涂层、使用寿命长

参数

性能 单位 数值
堆积密度 Mg/m³ 3.2
分解温度 2700
硬度 HK 2800
电阻率 Ω·m 0.2
抗弯强度 MPa 170
杨氏模量 GPa 320

应用领域解决方案

硅外延生长的衬底、单晶硅制造设备、MOCVD衬底、加热器、散热片、氧化抗性组件

产品展示

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中国CVD技术及碳陶产业的领航者
技术支持:海诚互联