点源蒸发源是一种用于物理气相沉积（PVD）过程的关键设备，通过局部加热使材料从点状源蒸发，并在基片上形成薄膜。这种蒸发源以其高精度和可控性著称，广泛应用于需要精细涂层的工业领域。其设计通常基于电子束或电阻加热原理，确保蒸发过程稳定且高效。