PG涂层

热解石墨涂层（Pyrolytic Graphite Coating，简称 PG涂层）是一种通过化学气相沉积法（CVD）在基材表面沉积的高纯度石墨薄膜或致密层。它通常与热解氮化硼（PBN）涂层配合使用，用于高温、真空或半导体外延设备中，实现导电加热或导热功能。

特性

（1）纯度高，表面致密，无气孔，高温下不释放任何气体，在1800℃左右能维持1.333*10^-5Pa真空。

（2）耐高温，强度随使用温度升高而增加，2750℃时强度达到最高值，3600℃升华。

（3）抗热震性能高，弹性模量低，导热率高，热膨胀系数小。

（4）化学稳定性好，耐酸、碱、盐及有机试剂腐蚀。

（1）半导体晶圆载具涂层

覆盖载具表面，形成致密保护层，避免载具与晶圆直接接触导致的划痕、金属离子或者颗粒污染。

（2）半导体关键设备零部件涂层

用于 CVD 设备内衬、离子注入机腔体、高温退火炉零部件等表面涂层。

（3）OLED蒸镀领域

用于真空蒸发镀膜装置，在高温、高真空下不会放出杂质和气体，不会影响镀膜纯度。

（4）原子吸收测试设备

原子吸收光谱仪的热解石墨涂层石墨管，比普通石墨管的抗氧化、抗化学试剂腐蚀能力更强。

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