PBN坩埚

特性

高纯度与致密性:纯度高达99.999%以上,表面致密无孔隙,气密性优异,氦透过率低至1×10-10cm³/s 。

耐高温与热性能: 耐高温达2200℃,且强度随温度升高而增加,抗热震性极佳,热传导性能各向异性(a方向200℃时60W/m·K,c方向仅2.60W/m·K)。

化学惰性:耐酸、碱、盐及有机试剂腐蚀,与绝大多数熔融金属、半导体材料不浸润、不反应。

参数

性能 Property 单位unit 数值 value
密度 Density g/cm3 1.95-2.20
抗张强度Tensile strength N/mm2 102
抗弯强度Bend strength N/mm2 243
抗压强度Compressive Strength N/mm2 244
热导率

Thermo conductivity

(200℃) W/m·k   60(a) 2.60(c)
热膨胀系数

Thermal expansion coefficient

(200℃) T.α/(1/K) 2.0×10-6(a)
介电常数(室温)Dielectric constant(at room temperature) / 5.81
电阻率 Resistivity Ω·cm 2.4×1015

应用领域解决方案

半导体单晶生长:用于VGF(垂直梯度凝固)、LEC(液封直拉)法生长GaAs(砷化镓)、InP(磷化铟)等III-V族化合物单晶。PBN坩埚的高纯度和抗高温变形特性保证了晶体的低缺陷和高纯度。

分子束外延(MBE):作为MBE坩埚,用于蒸发铝(Al)、镓(Ga)等材料,制备超晶格、量子阱等高端外延片。其高纯度和不润湿性确保了薄膜材料的精确化学计量和高质量。

OLED蒸镀与微电子:用于OLED蒸发源单元,耐高温、放气率极低,可实现均匀蒸镀,延长设备寿命并提升显示器件性能。

高温金属处理与冶金:用于熔融金属转移、特种冶金坩埚。其抗热震和耐腐蚀特性适合处理活性金属及合金。

产品展示

暂无产品

致力于成为
中国CVD技术及碳陶产业的领航者
技术支持:海诚互联