性能 | 单位 | 数值 |
蒸发速率 | Å/s | 1–20(可调) |
功率范围 | W | 500–10000 |
温度范围 | °C | 200–600 |
线长/尺寸 | mm | 标准100–500(可定制) |
电流需求 | A | 10–100(AC/DC) |
材料兼容性 | / | OLED有机材料蒸镀 |
真空要求 | mbar | 基压≤5×10⁻⁵ |
寿命 | / | >2000小时(取决材料和用法) |
线源蒸发源主要用于大面积涂层应用,如OLED蒸镀以及科研领域的薄膜沉积实验。其高效率和大面积覆盖能力使其成为工业生产的理想选择,支持高速卷对卷工艺和批量涂层。
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山东省禹城市南环东路88号