线源

线源蒸发源是一种设计用于大面积均匀蒸发的PVD设备,通过线性加热元件(如金属线或带状源)使材料蒸发,适用于覆盖较大基片的场景。这种蒸发源以其高效率和大面积一致性优势,常见于工业规模的生产线中。其工作原理通常基于电阻加热,确保蒸发过程简单且可靠。

特性

  • 均匀性好:线性设计提供一致的蒸发分布,确保薄膜在大面积基片上厚度均匀,减少边缘效应。
  • 稳定性高:采用 robust 的加热元件和控制系统,在连续运行中保持稳定的蒸发性能,适合大批量生产。
  • 材料利用率高:优化后的线状结构减少材料残留,利用率通常超过85%,经济环保。
  • 操作简便:设计易于安装和维护,降低 downtime,提高生产效率。

参数

性能 单位 数值
蒸发速率 Å/s 1–20(可调)
功率范围 W 500–10000
温度范围 °C 200–600
线长/尺寸 mm 标准100–500(可定制)
电流需求 A 10–100(AC/DC)
材料兼容性 / OLED有机材料蒸镀
真空要求 mbar 基压≤5×10⁻⁵
寿命 / >2000小时(取决材料和用法)

 

应用领域解决方案

线源蒸发源主要用于大面积涂层应用,如OLED蒸镀以及科研领域的薄膜沉积实验。其高效率和大面积覆盖能力使其成为工业生产的理想选择,支持高速卷对卷工艺和批量涂层。

产品展示

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