CVD复合陶瓷

通过化学气相沉积法(CVD,Chemical Vapor Deposition)制备的多种陶瓷复合材料制品。这类制品具有高纯度、致密性好、耐高温、耐腐蚀等特性,常用于极端环境下的精密部件。

特性

高纯度与致密性:纯度高达99.999%以上,表面致密无孔隙,气密性优异,氦透过率低至1×10-10cm³/s 。

耐高温与热性能: 耐高温达2200℃,且强度随温度升高而增加,抗热震性极佳,热传导性能各向异性(a方向200℃时60W/m·K,c方向仅2.60W/m·K)。

化学惰性:耐酸、碱、盐及有机试剂腐蚀,与绝大多数熔融金属、半导体材料不浸润、不反应。

电学与特殊性能:高电阻率(2.4×1015Ω·cm)、高介电强度(室温56 KV/mm)、低介电常数和介质损耗角正切,并具有良好的透微波和红外线性能 。

各向异性与机械性能:在力学、热学、电学性能上呈现显著各向异性;抗张强度102N/mm²,抗弯强度243N/mm²。

参数

性能 单位 数值
密度 g/cm3 1.95-2.20
抗张强度 N/mm2 102
抗弯强度 N/mm2 243
抗压强度 N/mm2 244
热导率 (200℃) W/m·k   60(a) 2.60(c)
热膨胀系数 (200℃) T.α/(1/K) 2.0×10-6(a)
介电常数(室温) / 5.81
电阻率 Ω·cm 2.4×1015

 

应用领域解决方案

高温加热与绝缘组件:

PBN/PG复合加热器涂层,用于晶片退火工艺等,具有良好的加热均匀性和长寿命。

石墨加热器的绝缘涂层、MOCVD系统中的绝缘板以及高温真空炉内的绝缘部件。

高温热电偶绝缘保护管,提供良好的气密性、耐蚀性和抗热震性。

特种冶金与加工:

用于异形石墨件或金属件的PBN涂层,提供耐高温、抗腐蚀的保护层。

致力于成为
中国CVD技术及碳陶产业的领航者
技术支持:海诚互联