高纯度与致密性:纯度高达99.999%以上,表面致密无孔隙,气密性优异,氦透过率低至1×10-10cm³/s 。
耐高温与热性能: 耐高温达2200℃,且强度随温度升高而增加,抗热震性极佳,热传导性能各向异性(a方向200℃时60W/m·K,c方向仅2.60W/m·K)。
化学惰性:耐酸、碱、盐及有机试剂腐蚀,与绝大多数熔融金属、半导体材料不浸润、不反应。
电学与特殊性能:高电阻率(2.4×1015Ω·cm)、高介电强度(室温56 KV/mm)、低介电常数和介质损耗角正切,并具有良好的透微波和红外线性能 。
各向异性与机械性能:在力学、热学、电学性能上呈现显著各向异性;抗张强度102N/mm²,抗弯强度243N/mm²。
性能 | 单位 | 数值 | |
密度 | g/cm3 | 1.95-2.20 | |
抗张强度 | N/mm2 | 102 | |
抗弯强度 | N/mm2 | 243 | |
抗压强度 | N/mm2 | 244 | |
热导率 | (200℃) | W/m·k | 60(a) 2.60(c) |
热膨胀系数 | (200℃) | T.α/(1/K) | 2.0×10-6(a) |
介电常数(室温) | / | 5.81 | |
电阻率 | Ω·cm | 2.4×1015 |
高温加热与绝缘组件:
PBN/PG复合加热器涂层,用于晶片退火工艺等,具有良好的加热均匀性和长寿命。
石墨加热器的绝缘涂层、MOCVD系统中的绝缘板以及高温真空炉内的绝缘部件。
高温热电偶绝缘保护管,提供良好的气密性、耐蚀性和抗热震性。
特种冶金与加工:
用于异形石墨件或金属件的PBN涂层,提供耐高温、抗腐蚀的保护层。
山东省禹城市南环东路88号