高纯度与致密性
CVD工艺精准控制成分与结构,使得热解碳化硼在纯度和致密性上远超传统烧结 / 热压成型的碳化硼
优异的力学性能
是自然界中除金刚石、立方氮化硼(CBN)外最硬的材料之一,CVD 热解工艺进一步优化了其微观结构(如细晶、无缺陷),使其力学性能更突出
卓越的耐高温与热稳定性
其稳定的晶体结构(三方晶系)和致密的微观形态,可耐受极端高温环境
优异的化学惰性
化学稳定性极强,对多数强酸、强碱、熔融金属和腐蚀性气体具有优异的抵抗能力
性能Property | 单位 Unit | 数值 Value |
密度 | g/cm3 | 2.52 |
晶格常数 | Å | a=2.5,c=4.3 |
抗弯强度 | Mpa | 400 |
弹性模量 | Gpa | 450-470 |
热导率 | W/m·K | 42 |
热膨胀系数 | mm/mm/K | 5×10-6 |
电阻率 | Ω·cm | 0.1-10 |
维氏硬度 | GPa | 38 |
熔点 | ℃ | 2450 |
在等离子刻蚀设备中,碳化硼具有比碳化硅更高的硬度以及其更优的耐腐蚀性,可以替代等离子刻蚀机中碳化硅刻蚀环的应用.
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山东省禹城市南环东路88号