B₄C涂层

特性

高纯度与致密性

CVD工艺精准控制成分与结构,使得热解碳化硼在纯度和致密性上远超传统烧结 / 热压成型的碳化硼

优异的力学性能

是自然界中除金刚石、立方氮化硼(CBN)外最硬的材料之一,CVD 热解工艺进一步优化了其微观结构(如细晶、无缺陷),使其力学性能更突出

卓越的耐高温与热稳定性

其稳定的晶体结构(三方晶系)和致密的微观形态,可耐受极端高温环境

优异的化学惰性

化学稳定性极强,对多数强酸、强碱、熔融金属和腐蚀性气体具有优异的抵抗能力

参数

性能Property 单位 Unit 数值 Value
密度 g/cm3 2.52
晶格常数 Å a=2.5,c=4.3
抗弯强度 Mpa 400
弹性模量 Gpa 450-470
热导率 W/m·K 42
热膨胀系数 mm/mm/K 5×10-6
电阻率 Ω·cm 0.1-10
维氏硬度 GPa 38
熔点 2450

应用领域解决方案

在等离子刻蚀设备中,碳化硼具有比碳化硅更高的硬度以及其更优的耐腐蚀性,可以替代等离子刻蚀机中碳化硅刻蚀环的应用.

产品展示

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中国CVD技术及碳陶产业的领航者
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