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PBN-PG复合加热器

一、产品概述
热解氮化硼-热解石墨(PBN-PG)复合加热器是使用高绝缘性的PBN作为基材,在低压(10torr 以下)高温下,用低压热分解CVD法进行导电PG涂层的加热器。
二、主要特点
1、PBN、PG化学性质稳定;
2、耐酸碱腐蚀;
3、可以做成复杂的形状;
4、可以急速升温至1500℃(不活性气氛中,真空下);
5、超高纯度;
6、释放出的气体少,可以应对超高真空。
三、产品应用
1、半导体基体加热(应用于MBE、MOCVD、溅射镀膜、CVC等领域);
2、超导体基体加热。;
3、电子显微镜样品加热;
4、金属蒸发加热源。
四、主要参数

 

        PBN

         PG

最高温度

2400℃

3600℃

张力  R.T.

410kg/cm2

1050kg/cm2

2200℃

1030kg/cm2

1400kg/cm2

电阻(1000℃)”a”

3*107Ω.cm

4*10-4Ω.cm

”c”

3*109Ω.cm

 1*10-1Ω.cm

一般加热器参数
圆形

  图形

尺寸
(mm)

电阻
(室温)(Ω)

电压
(V)

电流 (A)

最大功率
(W)

平整度
(mm)

温度均匀性 (℃)

 

圆形

 

25.4

  10-16

 40

8

300

1/100

  <1%

 38.1

10-16

70

10

700

1/100

<1%

 50.8

  15-25

110

15

1300

1/100

<1%

 63.5

  22-35

180

15

2000

1/100

<1%

 76.2

  22-35

208

20

3000

1/100

<1%

 

长条形

50.8

15-25

110

12

1300

1/100

<1%

76.2

15-25

170

20

3000

1/100

<1%

101.6

15-25

208

25

4500

1/100

<1%

圆形带耳朵

图形

尺寸
(mm)

电阻
(室温)
(Ω)

电压
(V)

电流
(A)

最大功率
(W)

平整度
(mm)

温度均匀性
(℃)

 

圆形

12.7

5-7

 15

 8

80

1/100

<1%

19

 9-15

 30

8

150

1/100

<1%

25.4

 9-15

 40

10

300

1/100

<1%

44.4

 17-30

 110

12

1000

1/100

<1%

50.8

 15-25

110

15

1300

1/100

<1%

条形

25.4

 15-25

 50

8

300

1/100

<1%

 

 

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