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加热器中的佼佼者——PBN-PG复合加热器

 

      热解氮化硼—热解石墨(PBN—PG)复合加热器是使用高绝缘性的PBN作为基材,在低压(10torr以下)高温下、用低压热分解化学气相沉积( CVD)法进行导电PG的涂层的加热器。该复合加热器主要成分是热解氮化硼( PBN)和热解石墨(PG),因其优异的耐腐蚀、耐高温等性能,主要应用于半导体基体加热(应用于MBE、MOCVD、溅射镀膜等);超导体基体加热;样品分析过程中的样品加热;电子显微镜样品加热;金属加热;金属蒸发加热源等。

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      PBN对腐蚀性气体具有惰性;具有纯度高(大于99.99%);与大多数熔融金属不浸润不反应(具不粘锅特点,金属可以100%使用);耐高温性好(最高使用温度达2000℃);致密性好;抗热震性好等优异性能成为了制备PBN—PG复合加热器的理想材料。
      PG在PBN—PG复合加热器中进行面加热,可以急速升温至1600℃(不活性气氛中、真空下),同时与PBN热传导性能好的特点相结合,使得加热面有很好的均热特性。随着相关产业的快速发展,PBN—PG复合加热器的需求也随之快速增加。

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      山东国晶新材料有限公司是国内较早实现化学气相沉积技术生产PBN—PG复合加热器的企业,拥有专业的研发团队和自主设计的大规模化学气相沉积生产线,可根据客户用途设计技术方案、定制产品规格和性能。目前,国晶公司生产的PBN—PG复合加热器已通过多家客户的测试,并大规模使用。

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