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碳化硅涂层介绍

 

一、产品概述
SIC 涂层具有耐高温、抗氧化、纯度高和耐酸碱盐及有机试剂等特性,物理化学性能稳定。SIC涂层作为一种新耗材,在MOCVD设备、粉末烧结等工序上逐渐代替高纯石墨。
二、主要特点
1.高温抗氧化:温度高达1600℃时抗氧化性能仍非常好。
2.纯度高:高温氯化条件下采用化学气相沉积方法制得。
3.耐冲刷:硬度高、表面致密、颗粒细。
4.抗腐蚀性:耐酸、碱、盐及有机试剂腐蚀。
5.化学性能稳定、热导率高、热膨胀系数小、耐磨性能好
三、应用
1、用作硅外延生长用基座
2、用作单晶硅生长炉内的炉具配件
3、MOCVD用基座
4、用于加热器
5、用作耐氧化材料
6、用于均热板

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